美国碍搁颈霍尔离子源别贬1000产物特性介绍

2025年03月11日 16:49:57 人气: 175 来源:

麻花星空mv天美

美国KRi霍尔离子源eH1000低成本设计提供高离子电流, 特别适合中型真空系统. 实现离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻.

尺寸: 直径= 5.7“ 高= 5.5”

放电电压 / 电流: 50-300V / 10A

工艺气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

美国碍搁颈霍尔离子源别贬1000产物特性介绍如下：

• 可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 最大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极

• 宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率

• 多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便; 无需水冷

• 等离子转换和稳定的功率控制

型号	eH1000 / eH1000L / eH1000x02/ eH1000LEHO
供电	DC magnetic confinement
- 电压	40-300V VDC
- 离子源直径	~ 5 cm
- 阳极结构	模块化
电源控制	eHx-30010A
配置	-
- 阴极中和器	Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode
- 离子束发散角度	> 45° (hwhm)
- 阳极	标准或 Grooved
- 水冷	前板水冷
- 底座	移动或快接法兰
- 高度	4.0'
- 直径	5.7'
- 加工材料	金属电介质半导体
- 工艺气体	Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors
- 安装距离	10-36”
- 自动控制	控制4种气体

东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产物。德国美国有公司，厂家一手货源，详请致电。

全年征稿/资讯合作 联系邮箱：丑产锄丑补苍蔼惫颈辫.辩辩.肠辞尘

版权与免责声明: 1、凡本网注明"来源：环保在线"的所有作品，版权均属于环保在线，转载请必须注明环保在线，丑迟迟辫蝉://飞飞飞.丑产锄丑补苍.肠辞尘。违反者本网将追究相关法律责任。; 2、公司发布的公司新闻、技术文章、资料下载等内容，如涉及侵权、违规遭投诉的，一律由发布公司自行承担责任，本网有权删除内容并追溯责任。; 3、本网转载并注明自其它来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。; 4、如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。