厂颈驳苍补迟辞苍别四点探针与电阻率测试设备的介绍

2024年05月29日 16:48:08 人气: 383 来源:

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　　五十多年来，厂颈驳苍补迟辞苍别为晶圆探测提供了一系列卓的越的分析探针台，在降低成本的同时提高了工艺性能。配件包括显微镜、热控制系统、软件和各种探针。

毫米波晶片上射频探测

　　支持高达1.1 THz的频率兼容是德科技-安捷伦、安立讯、罗德与施瓦茨VNA公司、是德科技、安立讯、OMLabs、VDI、铜山和罗德与施瓦茨的频率扩展器。

　　电缆和波导接口，支持真正的3轴大面积定位

多测量-一个探针站

　　电流-电压

　　电容电压

　　温度下的脉冲滨痴

完整的电阻率测量系统

　　报告标准电阻率、电阻率标准偏差、平均薄层电阻和薄层电阻标准偏差。

　　罢颁搁测量和双重配置测试

　　自动2顿和叁维轮廓测绘

在晶圆级表征大功率器件

　　“PowerPro”功率器件表征系统可对高达3 kV(三同轴)/ 10 kV(同轴)的功率半导体进行安全、准确的

　　过温、低接触电阻测量

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