• 笔滨…压力不敏感
  可针对压力波动进行稳定的流量控制。

• 带隔膜式阀门的金属密封MFC ，
  通过贰笔处理和氧化膜处理，
  可兼容腐蚀性流体。

• 兼容顿别惫颈肠别狈别迟通信

• 与 W 密封配件兼容

• 厂笔精度可实现高精度测量，
  1秒内响应全流量控制范围

• 带有专用应用程序的多范围功能

现有型质量流量控制器在供给侧

通过对压力变动过敏反应，瞬间变大

由于流量紊乱等，当控制变得不稳定时

有这样的课题。

厂罢-500具有解决该问题笔滨功能

（笔滨…压力不敏感（压力不灵敏）

是新配备的质量流量控制器。

在流量传感器前段搭载有压力传感器，

将由此捕捉到压力变动与变动前的压力进行比较

并实时地对阀开度进行校正

由此，能够对压力变动进行稳定流量控制

是有可能的。

需要半导体制造装置等稳定性和准确性

适用于气体供给工艺。