Avantes 适用于半导体应用 AvaSpec-ULS2048CL-EVO 光谱仪

2024年03月31日 14:33:50 人气: 361 来源:

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Avantes 适用于半导体应用 AvaSpec-ULS2048CL-EVO 光谱仪

半导体行业可以在其工艺的各个阶段从光谱测量中获得显着

的好处。基于光纤的光谱仪为行业提供了巨大的价值，因为

它们能够促进加工环境中的原位测量和近实时分析。

Avantes 适用于半导体应用，例如等离子体离子蚀刻、离子

束蚀刻、光刻胶剥离和化学/机械抛光的终点检测。仪器配置

也已部署在薄膜计量（在线和离线）和等离子体诊断环境中。

我们 EVO 系列的另一位成员：AvaSpec-ULS2048CL-EVO。

该光谱仪采用 CMOS 代替传统的 CCD 技术，完的全是最的新的，

并为下一个十年做好了准备。

CCD 探测器在光谱仪领域的主导地位正在减弱，CMOS 等新

技术已经发展并成为合适的替代品。AvaSpec-ULS2048CL-E

VO 为您提供这项最的新的技术，确保未来几年的光谱仪平台。

与我们最新的 AS-7010 电子器件相结合，AvaSpec-ULS2048

CL-EVO 为您提供了一款多功能设备，包括速度比 USB2 高十

倍的 USB3.0 通信，以及提供千兆以太网以集成到您公司网络

中的第二个通信端口以及远距离通信的可能性，而且价格实惠。

除了高速通信选项外，EVO 系列光谱仪还提供快速微处理器和

50 倍以上的内存容量，可以帮助您在机上存储更多光谱并实现

更多功能。

选项包括用于增强 200-1100 nm 范围内灵敏度的探测器收集透

镜和用于减少二阶效应的阶次排序滤波器。此外，础惫补厂辫别肠-20

48CL 还提供各种狭缝尺寸、光栅和光纤入口连接器。

它配有 AvaSoft-Basic 软件、USB 电缆和内容丰富的手册。

AvaSpec-ULS2048CL-EVO 还可作为 OEM 装置、台式或机架

安装版本提供。

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