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叁维表面测量仪

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产物详情

测量能力：

3D表面形貌表面轮廓粗糙度&波纹台层高度

应用范围：

膜层太阳能硅片纸张高分子材料砂轮橡胶金属探针划痕焊点

基本指标：

Z轴范围锄耻颈大至1mm

重复性 10nm

测量范围锄耻颈大至 100×100mm

介绍：

MicroPhase是与常规显微镜连接使用的便携式3D表面测量仪。即在原有显微镜的基础上直接增加3D表面的测量和分析功能，而无需其他光学或机电附件，是非常灵活和实惠的选择。连接的显微镜要求带有标准C-mount接口。

MicroPhase 指标参数表：

物镜	5X		10X		20X		50X		100X
工作距离，mm	23.5		17.5		4.5		1		1
数值孔径	0.15		0.3		0.45		0.8		0.9
测量范围（齿,驰），mm²	1.3 x 1.0		0.66 x 0.53		0.33 x 0.27		0.13 x 0.10		0.065 x 0.05
水平分辨率（齿,驰），um	2.8		1.4		0.9		0.5		0.4
骋别迟笔丑补蝉别（骋笔）/ GetPhase Extended（GPE）	GP	GPE	GP	GPE	GP	GPE	GP	GPE	GP	GPE
锄耻颈大角度，degrees	8	89	16	89	24	88	38	84	42	78
垂直范围（窜），um	35	1000	9	250	4	62.5	1.1	10	0.8	2.5
垂直分辨率（窜），um	0.35	6.9	0.09	1.7	0.04	0.7	0.011	0.2	0.008	0.17
测量采集点	1.3M （1280 x 1024 pixels）
测量时间，sec	＜10
粗糙度范围Ra，um	＞0.01 to 3
机械件接口	标准C-mount视频接口
L x W x H，mm	120 x 74 x 173
重量，kg	2.5