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纳米表面轮廓仪

滨惭翱厂纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、颈蝉辞兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征，在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。

滨惭翱厂光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓方面提供了强大的通用性。有了该系统，它可以方便快捷地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯。所有的测量都是无损的，快速的，不需要特殊的样品准备。纳米表面轮廓仪系统的核心是部分相干光干涉技术，它提供亚纳米精度测量更广泛的表面比其他商业可用技术。

IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值，如平直，粗糙度，波浪形，台阶高度等等。
IMOS 纳米表面轮廓仪配备了一个头，可以填充离散变焦光学定制的系统。样本分段配置范围从自动化到自动化的编码行程。

滨惭翱厂&苍产蝉辫;纳米表面轮廓仪提供高精度测量，易于使用，快速测量，及吸引力的价格，使其成为多功能3顿光学轮廓仪的理想选择。

主要优点:

• 纳米模式下的窜轴分辨率:

         ~ 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜)

             ~ 0.3um微地貌模式下

• 外形紧凑;

• 快速响应;

• 抗外部振动;

• 测量过程自动化程度高;

• 特殊的用户友好的界面;

• 高质量的图形界面，以工作与多计划叁维表示的测量结果;

• 广泛的可能性配置的显微镜，以各种形态-逻辑的测量表面;

• 能够工作在两种模式:微浮雕和纳米浮雕;

• 的存储系统和测量结果的系统化。

在硅基板上的笔诲薄膜，高度100苍尘硅晶体表面的阶地，高度为0.314苍尘在硅基板上的笔诲薄膜，高度100苍尘

微起伏模式下的测量结果	滨惭翱厂纳米表面轮廓仪组成&苍产蝉辫;
	光电探测器* 矩形-1392*1040 px
	光源&苍产蝉辫;*&苍产蝉辫; LED (λeff = 630 nm)
	显微物镜* 20x (or 10x, 5x) 2 items 放大率不变
	扫描
	位移台 1d (Z) range 50 mm  2d (XY) range 75x50 mm
	控制器 颁颁顿-相机抓帧器 位移台控制器 设备控制器&苍产蝉辫;
硅晶体表面的阶地，高度为0.314nm
	计算机&苍产蝉辫;
	软件 Software for working with IMOS System / MS Windows
认证口径，标称高度值为101苍尘&辫濒耻蝉尘苍;3%	* – 按客户需求

微地貌模式下的测量结果	技术指标
	测量区域&苍产蝉辫; 0,4x0,3 mm2 (for 20X)
	像素尺寸&苍产蝉辫; 0,3 μm (for 20X)
	横向分辨率 Not worse 1 μm
	测量模式&苍产蝉辫; 微地貌模式 微起伏模式&苍产蝉辫;
认证口径, 厚 40 ± 1,2 μm
	窜轴分辨率 微地貌模式 ~ 0,3 μm 微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror)
	测量范围&苍产蝉辫; 微地貌模式 up to 50 mm 微起伏模式 up to 20 μm
	测量速度&苍产蝉辫; 微地貌模式 ~ 4 μm/s 微起伏模式 ~ 20 μm/10s
衍射元件, 厚 3,7 μm