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KLA D-300 探针式表面轮廓仪

Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。

    探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

设备特点

· 台阶高度：几纳米至1000μm

· 低触力：0.5至15mg

· 视频：500万像素高分辨率彩色摄像头

· 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真

· 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

· 紧凑尺寸：最小占地面积的台式探针式轮廓仪

主要应用

· 台阶高度：2D台阶高度

· 纹理：2D粗糙度和波纹度

· 形式：2D翘曲和形状

· 应力：2D薄膜应力

应用领域

· 半导体和复合半导体

· SIMS：二次离子质谱

· LED：发光二极管

· 太阳能

· MEMS：微电子机械系统

· 汽车

· 医疗设备