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产物详情
主要特征：
• 采用的全铝技术，的刚性/质量比，保证机器的高性能和高精度。
• X向横梁采用超高精密三角梁(Tricision®)技术，相比矩形横梁，重心更低，质量刚性比更佳，运动更加可靠，该技术受到保护。
• Y轴采用获得的燕尾型导轨，提高了测量机的精度和重复性。
• Z向采取获得了的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性。
• 三轴均采用高精度德国HEIDENHAIN光栅尺，系统分辨率可达0.078μm，同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩。
• 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保大行程测量机运动的平稳性和定位的准确性。
• 采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-I控制系统，21项误差空间修正技术和自动调谐功能，保证了机器的动态性能和测量精度。
• 软件为业界的PC-DMIS BASIC (PC-DMIS PREMIUM)，功能强大，易学高效。
规格型号与技术指标：
| 机器型号 | 10128 | 10158 | 10218 | |
| 行程(尘尘) | X | 1000 | 1000 | 1000 |
| Y | 1200 | 1500 | 2100 | |
| Z | 800 | 800 | 800 | |
| 外形尺寸(尘尘) | Lx | 1600 | 1600 | 1600 |
| Ly | 2177 | 2477 | 3077 | |
| Lz | 2837 | 2837 | 2837 | |
| 测量空间(尘尘) | Dx | 1130 | 1130 | 1130 |
| Dz | 118 | 118 | 118 | |
| Dz1 | 940 | 940 | 940 | |
| 平台(尘尘) | Ph | 580 | 590 | 590 |
| Py | 1910 | 2210 | 2810 | |
| 支撑(尘尘) | Sy | 1000 | 1200 | 1450 |
| Sy1 | 455 | 505 | 680 | |
| 承重(碍驳) | 1300 | 1500 | 1800 | |
| 机台重量(碍驳) | 1785 | 2090 | 2625 | |
| MPEp(μm) | 3.5 | |||
| MPEe(μm) | 3.2+L/300 | |||
| 光栅尺分辨率 | 0.078μm | |||
| 空间移动速度 | 520mm/s | |||
| 空间移动加速度 | 1470 mm/s² | |||
| 流量/供气压力 | 2.5dm3/s (180NL/min) >0.7MPa | |||
| 温度 | 20&辫濒耻蝉尘苍;2℃ | |||
| 湿度 | 45%-75% | |||
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